「煜达微电子」与中山大学南昌研究院共建MEMS高精度惯性传感器联合研发平台

近日，沈阳产研院盛科创投已投项目——煜达（辽宁）微电子有限公司（以下简称“煜达微电子”）与中山大学南昌研究院举行MEMS高精度惯性传感器联合研发平台揭牌活动。双方将共同搭建研发平台并落实合作经费，以强强联合之势聚力攻坚MEMS高精度惯性传感器领域关键核心技术，推动科技成果高效转化与产业规模化发展。

煜达微电子是一家专注于高精度MEMS器件研发及系统解决方案的高科技企业，由沈阳产研院盛科创投与盛京资本合作的“盛科成果转化基金”，及盛科创投与辽宁基金、沈阳恒信集团、大东区汽车城集团合作的“盛科天使基金”联合投资孵化。

揭牌活动上，煜达微电子CEO周浩楠详细介绍了平台建设规划、发展目标与未来布局。此次合作，依托中山大学南昌研究院精密测量研发中心，煜达微电子将得以融入一个集研发、中试、生产于一体的综合平台，全面打通从芯片设计、微纳加工到测试封装的完整技术链路。这种深度的资源共享，为煜达微电子打通了链接高端制造资源的新通道，让公司的自主创新成果能更快完成从实验室到中试验证的跨越，进一步缩短前沿探索与产业需求的距离。

精密测量研发中心

精密测量研发中心是中山大学南昌研究院下属的重要研发、中试、生产平台，是中山大学在南昌首批布局的重要科研平台。中心结合南昌经济社会发展需求，在电子信息、高端装备、新材料和大健康等领域开展高端精密测量仪器研制及精密重力测量技术攻关等，为南昌推进创新驱动发展战略和军民融合战略，发展和培育高新技术产业，参与国家大科学、大工程提供重要支撑。中心位于光电产业园二号园区1#厂房内，项目总投资约2.3亿元，厂房面积约1.2万m²。

▲平台建有专用微纳加工技术及芯片研发线，可开展半导体微纳研发、加工、测试、集成等科研活动。

▲现有6000㎡超净间厂房，200余台先进半导体工艺及测试设备，能完成4&6寸晶圆全流程流片加工。

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作为沈阳市科技体制改革“试验田”，自2021年11月正式运营以来，沈阳产研院始终以科技创新推动产业创新为出发点和落脚点，基于“技术价值发现”与“产业孵化”两项核心能力，打造“盛科”品牌，创新“拨投结合”等多种科转模式，构建东北首个全流程、全要素、全链条科技成果转化服务体系。已培育具有核心技术的专业项目公司83个，在管、在建及参与基金10只，基金总规模14.7亿元，承接先进技术成果沈阳转化中心等国家重大项目平台，搭建包括清华、北大创新创业实践基地等创新平台12个，系辽宁省博士后创新实践基地。

以场景牵引创新，以市场驱动转化。作为区域科技创新的重要枢纽，沈阳产研院正全力迈向综合类国家技术创新中心的战略高地！

沈阳盛科私募基金管理有限公司（简称“盛科创投”），成立于2021年11月，是沈阳产业技术研究院的市场化科技成果转化与硬科技投资平台，是产研院构建“科技+产业+金融”生态体系的重要组成部分。

盛科创投管理的首只基金产品——沈阳市盛科成果转化基金是沈阳的首支科技成果转化基金，该基金于23年3月完成产品备案进入运营阶段。经过3年的快速发展，盛科创投已累计建设、管理及参与的基金产品10只，已投资科技成果转化及科技创新项目23个，预计2026年管理规模近15亿元。盛科创投已经初步建设了覆盖科技成果转化的早期和成长期不同阶段的概念验证基金、转化基金、加速基金等产品，并通过建立中试基地专项基金以及新能源、新材料等领域垂直行业基金，形成了多层次的科技成果转化与创新投资体系。

盛科创投后续将持续支持各类科技创新企业发展，探索科技创新投资新模式，为辽沈科技生态发展提供助力。

以下为部分盛科创投投资企业：

苏州新施诺（AMHS）、新松半导体（大气与真空晶圆传输手）、美行科技（车载导航）、航燃科技（两机测试服务）、远程摩擦（摩擦材料）、中科金瓷（晶圆静电吸盘与加热器等）、冷芯半导体（半导体微型制冷芯片）、慧为科技（特种防爆机器人）、中睿科技（3D探地雷达）、鑫谱晶体（特种光学晶体材料）、科利医疗（近红外II区荧光成像系统）、盛科鑫通（小口径人工血管）、俊博科技（高端轴承）等。