立足赣鄱
赋能科创
海量正气 • 硕造不凡

项目概况
近日,由江苏海硕能源装备科技有限公司全程设计、研发、制造的南昌实验室800Nm³/h深冷精馏空分制氮装置,顺利运抵南昌高新区瑶湖科学岛项目现场,正式迈入现场安装关键施工阶段。
本项目是南昌实验室第三代复合半导体产业配套的核心动力气源工程。项目落地于实验室7#氮气站,主要服务2#外延芯片厂房中试产线建设,由正帆科技中标承接整体项目,海硕能源独家负责整套深冷制氮核心装备的设计与生产制造工作。
PART1

产业刚需



作为江西省重点打造的第三代半导体重大创新平台,南昌实验室聚焦氮化镓、碳化硅等宽禁带半导体材料与器件的研发、中试及产业化验证。实验室核心搭载MOCVD外延炉、薄膜沉积、真空退火、晶圆精密检测等高端设备,对氮气气源的纯度、稳定性、洁净度有着严苛的半导体级标准要求。
相较于常规PSA制氮设备,本次落地的800Nm³/h级深冷精馏空分装置,采用低温空气精馏核心工艺,可稳定产出5N电子级超高纯氮气,有效满足GaN外延生长、腔体吹扫、晶圆惰性保护、工艺吹扫等全场景用气需求,是保障第三代半导体科研中试产线稳定运行的关键基础设施。
PART2

教研的必要性


自项目合同落地以来,海硕能源严格遵循泛半导体洁净装备制造规范,统筹工艺方案设计、核心零部件采购、整机装配、系统联调、出厂检测全流程工作。项目团队严控每一道生产工序,针对半导体气源设备的微污染控制、稳定性、密封性进行多重校验,全方位保障设备性能匹配南昌实验室高端科研工况。




目前,整套深冷制氮装置已圆满完成厂内全部生产、装配与测试工作,各项技术参数均达标,于今年7月正式从海硕生产基地发运至项目现场,为现场安装工作奠定了坚实基础。
PART3

前置服务



全员驻场跟进

为杜绝项目衔接断层、保障工程高效推进,海硕能源建立前置化、全天候项目服务机制。在设备正式发货前,公司已提前派驻专业项目人员驻扎南昌实验室现场,提前复核土建施工条件、确认安装界面、对接现场施工规范,全程跟进项目前期筹备工作。
构建常态化项目管控机制

设备到货就位后,驻场团队全程盯控设备吊装、定位、组装等安装作业,保障施工标准化、规范化推进。同时,项目组建立每日晚八点进度同步机制,定时汇总现场施工动态、难点问题、推进计划,实时同步项目进展。公司后方技术、调度、运维团队全程待命,可根据现场需求快速响应、灵活调度,全方位保障项目推进节奏。
PART4

后续赋能


调试+培训双保障

现阶段,设备现场安装工作正在有序稳步推进。待全部安装工序圆满收官后,海硕能源将第一时间派遣专业调试工程师赶赴现场,开展整套深冷制氮装置的单机调试、系统联动试车、工艺参数精细化校准等核心工作,确保设备达到半导体级供气标准,稳定适配产线用气需求。

助力业主高效运维

调试工作完成后,技术团队将面向南昌实验室业主运维人员开展全方位系统化实操培训,覆盖设备启停操作、日常巡检养护、运行参数监控、基础故障排查、安全运维规范等核心内容,帮助业主团队熟练掌握设备操作与运维技能,实现设备长效安全稳定运行。
PART4

深耕实干



以高端装备助力半导体产业升级

高端空分装备是第三代半导体产业发展的核心基础配套,直接决定科研与中试产线的运行质量。未来,海硕能源将持续深耕泛半导体高纯气体装备赛道,深耕深冷空分、现场制气成套装备自研制造领域,以精工品质、高效服务、专业技术赋能高端科研与产业项目。
后续,公司项目团队将严守施工安全标准、严控工程建设质量,稳步推进安装、调试、培训全流程工作,全力推动项目早日实现稳定供气,助力南昌实验室打造国内领先的第三代半导体创新研发高地,赋能江西半导体产业高质量发展。

= END =
文案 | 海硕
图片 | 海硕
